高端激光干预测量仪器实现自主研发

 行业动态     |      2019-6-10 11:26:28

超精密测控和维纳尺度测量的最有效手段就是激光干预测量,但是此项技术长期由国外企业限制和垄断,以及对我国的出口限制。在国家重大科技专项项目的支持下,由清华大学的专家团队成功完成了“高测速多轴高分辨率激光干涉测量技术与仪器”项目,突破了一系列的关键技术瓶颈,形成了新的测量方法、系统和机器。最新研究成果已经成功的应用到我国自主研发的光刻机工件台样机研发过程中,累计应用50余台套,满足了光刻机的精密测量需求,减轻了对于国外设备的依赖及受制于国外的测量和溯源能力。丰富了激光干涉测量领域的理论和技术。

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